真空炉常用的真空测量方法

真空炉常用的真空测量方法

压缩式真空计，上接一根顶端封闭的毛细管，下端与“Y”形管的一端口相接，“Y”形管下方接汞储存器，使用时，将真空系统与“Y”形管口相接，转动真空计，是汞压缩气体，再转至垂直位置读取“测量毛细管”与“比毛细管”的液面差，即为所测真空度。压缩真空计优点在于测量的准确性高，可作为真空计量的标准器。他的缺点是使用不够方便，反应缓慢，不能连续测量。由于压缩式真空计是根据气体定律制作的，只能测量气体分压强，而不能测量蒸气压。在蒸汽分压较大的真空系统中，压缩式真空计的读数不能标志其真空度。

二、热导式真空计

真空炉厂家利用真空系统中分子数与传导热量有关的原理制成热导式真空计，电阻真空计和热偶真空计两种。通过电流时温度升高，周期气体被加热，规管管壁温度低，依靠周围存在的气体分子传导热量，电阻丝温度变化，即反应了存在气体分子多少。直接测量电阻丝的温度很不方便，由于电阻丝的电阻值与温度有关，故可用电桥测出其电阻数值。热导式真空计的优点是：1，可测量总压强；2，能连续测量；3，使用方便，可用导线进行远距离测量；4，结构简单，易于制造；其缺点是：1，有热惯性，当压强变化很快时，反应滞后；2，外界温度对测量结果有一定的影响；3.电阻丝表面情况改变，可造成零点漂移，影响准确读数。

三、电离真空计

真空炉厂家是以气体的电离现象为基础来测量真空度大小的，可分为热阴极电离真空计和磁控放电真空计两类。当在各极加上一定电源时，灯丝处于白炽状态，发出热电子。这些电子与管内气体分子碰撞，使气体电离，产生整离子。证离子为离子收集，形成电流，随着压强的变化，电流也有变化。测量电流的大小，即可测出真空。热阴极电离真空计的优点是：1，可测总压强；2，可连续测量；3，测量范围广，灵敏度很高；4，电离计规管体积小，可直接连通要测位置；5，对机械振动不敏感，惯性小；6，校准曲线是直线性；其缺点是：1，读数与气体种类有关，不同气体要做不同曲线；2，灯丝是白炽状态，真空系统突然漏气或压强突然升高，会使灯丝损坏；3，气体被吸附在阴极和收集表面，易产生测量误差；4，在低压强时，规管外壳与电极放电现象影响读数；

磁控放电真空计也是利用气体放电原理，但在规管中没有热阴极。规管中有两个平行阴极，两个平行板中间有个框型电极。整个规管的电极部分都在磁场之中。由于外加磁场的作用和阳极的框型，容易使电子穿越，造成电子在空间做来回多次的螺旋运动。增加电离的效果，真空计的灵敏度则随之提高。其优点是：1，没有热阴极存在，不会因漏气而损害灯丝；2，测量总压强，可连续测量；3，放电电流大，电路使用仪表简单；4，结构牢固，对外界不敏感；其缺点是：在压强条件下，它的灵敏度不及热阴极电离真空计高，对不同气体也需要不同校准曲线.